产品介绍-分子泵

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北京西城区德外大街11号B座416A
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The turbo molecular pump is used for the application of high and ultra-high vacuum. It can not be used for atmosphere deflation directly and needs to equipped with backing pump
Main applications:
• Surface physical and analysis instrument
• Plasma physical and space research
• Nuclear fusion utilities
• Atomic & molecular beam system. Particle accelerator
• Vacuum coating
• Vacuum smelting
• Manufacturing of semiconductor and
• Optical instrument

特点[FEATURES]

体积小，安装和使用方便
·理想的动平衡，震动和噪音小
·压力在 10^-1 -10^-8范围内有恒定的抽速
·陶瓷轴承使用寿命长

应用[APPLICATIONS]

F涡轮分子泵用于高真空和超高真空，它不能直接对大气排气，需要配置前级泵。
主要应用领域
·表面物理和分析仪器
·等离子体物理，空间研究
·核聚变装置
·原子束分子束系统，粒子加速器
·真空镀膜
·真空冶炼
·半导体和光学器件制造

Small volume. easy to install and use
• Low vibration and noise. perfect rotary balance
• Constant rotating speed in the rang of 10^-1 -10^-8 pa
• Ceramic bearing with long service life

技术参数[Technical Data]

型号Model		FC150/450	FG150/450	FC250/1400		FG250/1400	FC400/3500	FG400/3500
进气口法兰 Inlet flange mm		160CF	160ISO-K	250CF		250ISO-K	400CF	400ISO-K
出气口法兰 Outlet flange　　mm		40KF		63ISO-K			100ISO-K
抽气速度 Pumping speed L/S		450		1400			3500
极限压力Pa Ultimate pressure	不烘烤 without baking	10^-6
	烘烤 with baking	10^-8
压缩比 Compression ratio	对N₂	10⁸					10¹⁰
	对H₂	10²					10⁴
转速RPM r/min		24000					15000
起动时间 Start-up time <min		5			10		30
前级压力 Fore pressure <Pa		10
建议采用的前级泵 Recommended backing pump L/S		8			15		70
冷却水温度 Cooling water temperature 　　　　　　　　　　　 <℃		16
冷却水压力 Cooling water temperature 　　　　　　　　　　　MPa		0.196
泵体烘烤温度 Temperature of baking 　　　　 <℃		120
重量 Weight Kg		35			70		160

抽速曲线[VOLUME FLOW RATE-THROUGHPUT]

电源技术参数[TECHNICAL DATA OF POWER SUPPLY]

B 系列电源特点
• 操作简单
• 抗干扰能力强
• 保护功能齐全
• 故障跳闸储蓄并显示，便于检查故障
• 可根据用户需要，设置不同的运行速度
• 可与计算机联网

Feature of B series power supply
• Easy to operate
• High anti-interference ability
• Complete protection function
• Storage and display of failure trip for failure inspection
• Different operation speed setup according to customer's requirement
• Able to work with computer

B系列电源技术参数[TECHNICAL DATA OF B SERIES POWER SUPPLY]

型号 Model		FD-150/450B	FD250/1400B	FD-400/3500B
输出 output	额定输出容量 (KAV) Rated output capacity	0.75	1.0	1.5
	额定输入电压 (V) Rated input voltage	3×50
	额定输出频率 (HZ) Rated output frequency	400	400	250
	最大起动电流 (A) Max. operation current	<4	<5	<8
	正常工作电流 (A) Operating current	<1	<1.2	<2.5
输入 Input	额定输入电压 (V) Rated input voltage	220±10%
	额定输出频率 (HZ) Rated output frequency	50/60±5%
控制特性 Controlling features	控制方式 Controlling	正弦波PWM方式 Sinusoidal wave PWM
	过负载耐量 Overload capacity	输出最大起动电流的140%，一分钟 140% of output starting-up current (minute)
	起动加速时间 (分) Starting accelerating time	3	6	20
	停车减速时间（分） Shutdown decelerating time	10	20	40
保护功能 Protection function		过电压、过电流、低电压、过负载、过热等 over-voltage, over-current, low-voltage, overload and over-heating, etc.
冷却方式 Cooling		强制风冷 forced wind cooling
环境 Environment	使用场所 Operation place	安装处所无腐蚀性气液体，无尘垢 No corrosive gas and liquid, no dust at the place where the pump is installed
	环境温度 Environment temperature	-10℃-50℃(超过40℃时须移至通风良好处) (moved to the place where ventilation is good when temperature is over 40℃)
	环境湿度 Humidity	90％RH以下(无疑露) Below 90% Rh (No condese)
	振动 Vibration	20hz以下9.80665m/s2(1G) 20-50Hz5.88m/s₂9(0.6G)
重量 Weight		20	23	27