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结构尺寸(Construction
Size) |
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CF-系列超高真空插版阀尺寸部位示意图
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 技术数据
CF-系列超高真空插版阀技术指标
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| 项目 |
单位 |
CF-63 |
CF-100 |
CF-150 |
CF-200 |
| 真空范围 |
Pa |
大气～10^7以下 |
大气～10^7以下 |
大气～10^7以下 |
大气～10^7以下 |
| 公称通径 |
mm |
63 |
100 |
150 |
200 |
| 流导 |
L/S |
500 |
1300 |
4600 |
8635 |
| 漏率 |
Pa.m³/S |
1.3*10^10 |
1.3*10^10 |
1.3*10^10 |
1.3*10^10 |
| 连接法兰 |
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CF63 |
CF100 |
CF150 |
CF200 |
| 连接尺寸Fb（中心距） |
mm |
102 |
130.3 |
181.1 |
231.9 |
| n（螺钉数） |
|
8 |
16 |
20 |
24 |
| Φc（螺孔） |
mm |
M8 |
M8 |
M8 |
M8 |
| 允许烘烤温度（开） |
.C |
<100 |
<150 |
<150 |
<150 |
| 允许烘烤温度（关） |
.C |
<70 |
<120 |
<120 |
<120 |
| 安装空间位置 |
任意（最佳工作状态为水平安装） |
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技术数据
CFQ-系列超高真空插版阀外形尺寸 |
| 型号 |
CFQ-63 |
CFQ-100 |
CFQ-150 |
CFQ-200 |
| A |
360 |
420 |
532 |
595 |
| B |
124 |
222 |
292 |
368 |
| H |
70 |
88 |
88 |
112.1 |
| ΦB |
102 |
130.3 |
181.1 |
231.9 |
| C |
57 |
76 |
110 |
127 |
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技术数据
CF-系列超高真空插版阀外形尺寸 |
| 型号 |
CF-63 |
CF-100 |
CF-150 |
CF-200 |
| A |
305 |
390 |
532 |
695 |
| B |
124 |
222 |
292 |
368 |
| H |
70 |
88 |
88 |
112.1 |
| ΦB |
102 |
130.3 |
181.1 |
231.9 |
| C |
57 |
76 |
110 |
127 |
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CF-B系列超高真空超薄插版阀 |
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技术数据 CF-B系列超高真空超薄插板阀技术指标 |
| 项目 |
单位 |
CF-63 |
CF-100 |
CF-150 |
CF-200 |
| 真空范围 |
Pa |
大气～10^7以下 |
大气～10^7以下 |
大气～10^7以下 |
大气～10^7以下 |
| 公称通径 |
mm |
150 |
200 |
150 |
200 |
| 流导 |
L/S |
4600 |
8635 |
4600 |
8635 |
| 漏率 |
Pa.m³/S |
1.3*10^10 |
1.3*10^10 |
1.3*10^10 |
1.3*10^10 |
| 连接法兰 |
|
CF150 |
CF200 |
CF150 |
CF200 |
| 连接尺寸Fb（中心距） |
mm |
181.1 |
231.9 |
181.1 |
231.9 |
| n（螺钉数） |
|
20 |
24 |
20 |
24 |
| Φc（螺孔） |
mm |
M8 |
M8 |
M8 |
M8 |
| 允许烘烤温度（开） |
.C |
<150 |
<150 |
<150 |
<150 |
| 允许烘烤温度（关） |
.C |
<120 |
<120 |
<120 |
<120 |
| 安装空间位置 |
任意（最佳工作状态为水平安装） |
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技术数据
CF-B系列超高真空超薄插版阀外形尺寸
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| 型号 |
CF-150B |
CF-200B |
CFQ-150B |
CFQ-200B |
| A |
650 |
830 |
484 |
577 |
| B |
219 |
285 |
219 |
285 |
| H |
77 |
89 |
77 |
89 |
| ΦB |
181.1 |
231.9 |
181.1 |
231.9 |
| C |
95 |
126 |
95 |
126 |
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公司简介
