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                   JCP-200A一体化磁控溅射镀膜机  

干式真空泵简称干泵,亦称无油泵。可清洁抽取真空,不会对环境造成任何污染。而干式真空泵在目前为止还是一项全新的技术。国际上只有德国、英国极少数国家可以生产,国内现批量投入生产的也只有朗禾真空一家。

二十世纪八十年代后期,西方国家研制实用干泵。本世纪初朗禾干泵产业化的成功也使我国清洁真空获得设备跨入先进行列。

 

参数 /型号

LH-H

LH-PH

LH-PHC

LH-CC

极限真空(Pa

50

3

3

压比〈100

理论抽速(L/S)

4--150

4--150

4--150

4--70

满载功率(Kw

0.75—15

1.1—15

1.1--15

1.1--11

输入电压(V

380

380

380

380

输入频率(Hz)

50

50

50

50

 

 


 

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